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      3. 
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      中國燃氣設備網
      
    
        
  
        
  
        
    
         
             
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      日本理研 優 質、 服 務 、信 用 ！經營單位：深圳亞威華公司 銷售部電話：0755-25887166，25887236　傳真：25887232 
    
        
  
        
  
  
        
    
        
       
    
        
    
        
      
    
        
    
        
      
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　適用于半導體工業
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            
        
                
        
                  　特點
                
        
            
        		
          
        
          
        
             
          
        
          
        
            
        ● 工業半導體凈化室的理想檢測儀器
        
              ●         更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
        
              ●         抗干擾性強
        
              ● 盒式帶取放簡便
        
              ● 盒帶剩余量顯示
        		
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　規格
          
        
      
        		
    
        
    
        
        
    
        
    
        
      
        
          
        
            
        
                
        
                
        類型
        
            
        		
            
              
        臺式，可搬運型
        		
          
        
          
        
            
        檢測原理
        		
            
              
        光電光度學原理用于盒式紙帶
        		
          
        
          
        
            
              
        檢測盒帶
        		
            
              
        VHS型可更換盒式帶
        		
          
        
          
        
            
              
        電源和
        
              耗電量
        		
            
              
        AC220V 50/60Hz
        
              檢測時：35VA 供帶時：60VA
        		
          
        
          
        
            
        尺寸·重量
        		
            
        275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kgs
        		
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　檢測氣體名稱
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            
              
        檢測氣體
        		
            
              
        TLV值
        		
            
        檢測范圍
        		
            
        解析度
        		
          
        
          
        
            
        磷 PH3
        		
            
              
        300ppb
        		
            
        0-900ppb
        		
            
        5
        		
          
        
          
        
            
              
        四氫化硅 SiH4
        		
            
              
        5ppm
        		
            
        0-15ppm
        		
            
        0.25
        		
          
        
          
        
            
              
        乙硼烷 B2H6
        		
            
              
        100ppb
        		
            
        0-300ppb
        		
            
        5
        		
          
        
          
        
            
        胂 AsH3
        		
            
        50ppb
        		
            
        0-150ppb
        		
            
        1
        		
          
        
          
        
            
        乙硅烷 SiH6
        		
            
        5ppm
        		
            
        0-10ppm
        		
            
        0.1
        		
          
        
          
        
            
        硫化氫HS2
        		
            
        10ppm
        		
            
        0-100ppm
        		
            
        1
        		
          
        
          
        
            
        光氣 COCl2
        		
            
        100ppb
        		
            
        0-300ppb
        		
            
        2
        		
          
        
          
        
            
        氯氣 Cl2
        		
            
        0.5ppm
        		
            
        0-100ppb
        		
            
        1
        		
          
        
          
        
            
        硒化氫 H2Se
        		
            
        50ppb
        		
            
        0-300ppb
        		
            
        2
        		
          
        
      
        		
    
        
  
         

        
    
        
      
    
        
    
        
      
    
        
    
        
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