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      3. 
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      中國燃氣設備網
      
    
        
  
        
  
        
    
         
             
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       優 質、 服 務 、信 用 ！經營單位：深圳亞威華公司 銷售部電話：0755-25887166，25887236　傳真：25887232 
    
        
  
        
  
  
        
    
        
       
    
        
    
        
      
    
        
    
        
      
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　適用于半導體工業
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            
        
                
        
                  　特點
                
        
            
        		
          
        
          
        
             
          
        
          
        
            
        ● 內裝微機能進行自動調整和自我診斷
        
              ●         LCD液晶顯示
        
              ●         小型、輕量設計
        
              ● 帶峰值保持和測平均值功能
        
              ● 聲/光雙重報警功能
        
              ● 記錄輸出(1～5VDC)
        		
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　規格
          
        
      
        		
    
        
    
        
        
    
        
    
        
      
        
          
        
            
              
        檢測原理
        		
            
              
        定電位電解方式
        		
          
        
          
        
            
              
        檢測氣體和范圍 
        		
            
              
        見下表
        		
          
        
          
        
            
              
        檢測方式
        		
            
              
        連續檢測/平均值檢測/峰值檢測
        		
          
        
          
        
            
        控制功能
        		
            
        微機控制
        		
          
        
          
        
            
        顯示
        		
            
        LCD自照明
        		
          
        
          
        
            
        指示精度
        		
            
        ±10%FS以內
        		
          
        
          
        
            
        反應時間
        		
            
        30秒內(氣體濃度超3倍報警設定值時)
        		
          
        
          
        
            
        采樣系統
        		
            
        隔膜內置泵
        		
          
        
          
        
            
        使用溫/濕度
        		
            
        -10℃～+40℃，低于90%RH
        		
          
        
          
        
            
        連續使用時間
        		
            
        堿性干電池20小時，Ni-Cd電池10
        
              小時(無報警照明時)可連接AC外接電源
        		
          
        
          
        
            
        尺寸·重量
        		
            
        200(W)×80(H)×142(D)mm 約1.9Kg
        		
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            　檢測氣體名稱
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
    
        
      
        
          
        
            
              
        檢測氣體
        		
            
        檢測范圍
        		
            
        報警設定值
        		
          
        
          
        
            
        磷 (PH3)
        		
            
        0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
        		
            
        0.3ppm
        		
          
        
          
        
            
        胂 (AsH3)
        		
            
        0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
        		
            
        0.3ppm
        		
          
        
          
        
            
              
        四氫化硅 (SiH4)
        		
            
        0-15.0ppm(1刻度0.5ppm)
        		
            
        5ppm
        		
          
        
          
        
            
              
        乙硼烷 (B2H6)
        		
            
        0-30.0ppm(1刻度0.5ppm)
        		
            
        10ppm
        		
          
        
          
        
            
        氯化氫 (HCl)
        		
            
        0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)
        		
            
        2ppm
        		
          
        
          
        
            
        氟化氫(HF)
        		
            
        0-9.0ppm(1刻度0.5ppm)
        		
            
        3ppm
        		
          
        
      
        		
    
        
    
        
       
    
        
  
         

        
    
        
      
    
        
    
        
      
    
        
    
        
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