日本理研

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　適用于半導體工業

　特點

● 臺式可搬運型
● 帶外部報警接點(NO接點)和記錄輸出(4-20mA或1-5V DC)
● 幾乎不受有機溶劑氣體影響
● 氣體通道采用耐腐蝕結構
● 2級報警方式(第一，第二段報警)

　規格

檢測原理	定電位電解方式
檢測氣體和范圍	空氣中的毒氣，見下表
指示精度	±10%F.S以內
報警設定值	視不同氣體而定
使用溫度范圍	0℃～+40℃
電源	AC220V±10%
尺寸·重量	200(W)×200(H)×320(D)mm 約6.9Kg

　檢測氣體名稱

氣體名稱	EC-565S型(ppm)	EC-565SS型(ppm)	EC-565ST型(ppm)
胂 AsH3	0-1	0-0.2	--
四氯化碳 CCl4	--	--	0-30
氯氣 Cl2	0-3	--	--
氯仿 CHCl3	--	--	0-30
乙硼烷 B2H6	--	0-0.3	--
氟 F2	--	0-5	--
鍺烷 GeH4	--	0-2	--
氯化氫 HCl	0-5/15	--	--
氰化氰 HCN	--	0-30	--
氟化氰 HF	0-9	--	--
硒化氫 SeH2	--	0-0.2	--
臭氧 O3	0-5	0-1	--
磷 PH3	0-1	0-0.2	--
四氫化硅 SiH4	0-15	--	--
二氧化硫 SO2	0-15	--	--
三氯乙烯 CHCLCCL2	--	--	0-50

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